レッドソックス

--> Takeda Clean Room 東京大学 超微細リソグラフィー ナノ計測拠点 The University of Tokyo, Ultrafine lithography nano-measurement center --> 東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点微細加工部門 Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub Nanofabrication Division ニュース News 現在、武田CRでは新型コロナウイルス感染症対策を行っています。詳しくはページ下部をご覧ください。 (2024/2/5) 2023年12月より、ARIM では実験データの試験的提供（無料）を始めました。詳細はこちら。 下記より是非ご覧ください。閲覧後アンケートにご回答をお願いいたします。 URL: https://nanonet.mext.go.jp/data_service/ (2023/12/15) １月２３日に ”ARIM 第２回革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル領域シンポジウム” が開催されます。詳細はこちら。 (2022/3/31) 2022年4月1日より、文科省マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM)が始まりました。設備共用は従来と変わらずご利用ください。ARIMについては以下をご参照ください。 ARIMセンターハブ(NIMS): https://nanonet.mext.go.jp/ (旧版)https://www.nanonet.go.jp/pages/arim/ 東京大学ARIMハブ: https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/ 以前のニュース (2023/08/10) ９月８日に第１８回Ｄ２Ｔシンポジウムが開催されます。詳細はこちら。 (2023/4/10) 2023 年度の新人講習会・継続講習会の申込み受付を開始しました。 (2023/2/15) 3月20日に ”ARIM 革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル領域シンポジウム” が開催されます。詳細は、こちら。 (2023/1/25) 2月15日に　NanoHubワークショップ Vol.３ “量子技術とNanoHubへの期待” が開催されます。詳細は、こちら。 (2022/08/26) ９月１５日に第１７回Ｄ２Ｔシンポジウムが開催されます。詳細はこちら。 (2022/08/25) ９月１日・５日に２０２２年度第１回・第２回Ｄ２Ｔ特別セミナーが開催されます。詳細はこちら（第１回・第２回）。 (2022/08/18) 2022年9月21日のクリーンルーム新人講習会の予約受付を開始いたしました。 (2022/06/27) 2022年7月6日のクリーンルーム新人講習会の予約受付を開始いたしました。 (2022/06/24) ナノシステム集積センター設立記念シンポジウムを7月5日(火)14時10分より開催します。詳細はこちら (2022/04/22) 2022年度の大講習会及びリフレッシュ講習会の予約受付を開始いたしました。詳細はこちら --> We have a policy for infectious desiease control. Please see below for details. (2024/2/5) ARIM has begun offering experimental data on a trial basis from December 2023, which is free of charge. For details please refer to here. Please follow the link below. After viewing the website, please give us your feedback. URL: https://nanonet.mext.go.jp/data_service/ (2022/3/31) Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan (ARIM) conducted by MEXT have started since April 1, 2022. You can use the open facility as usual. Please refer about ARIM on the web sites as below. ARIM center hub (NIMS): https://nanonet.mext.go.jp/ (Old)https://www.nanonet.go.jp/pages/arim/ ARIM The University of Tokyo Hub: https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/ Old news (2023/08/10) The 18th D2T symposium is held on 9/8. For details please refer to here. (2023/4/10) We start entry of FY 2023 new / renew Takeda Clean Room Course. (2022/08/26) The 17th D2T symposium is held on 9/15. For details please refer to here. (2022/08/18) Newcomer Workshop on 9/21 (Japanese) is open. (2022/06/27) Newcomer Workshop on 7/6 (Japanese) is open. (2022/06/24) ナノシステム集積センター設立記念シンポジウムを7月5日(火)14時10分より開催します。詳細はこちら (2022/04/22) Registration page for Newcomer Workshop and Refresh Course is open. --> 講習会情報や受賞はこちらから！ Click here for information on workshops and awards! --> 新人講習会 CR Seminar --> 2024年度の新人講習会の日程の確認・申込みはこちらから。 The dates for the 2024 Newcomer's Seminar have been started. --> セミナー Other seminar --> （２０２４年１月２３日開催）「第２回革新的なエネルギー変換を 可能とするマテリアル領域」シンポジウム （12月22日開催）武田先端知クリーンルーム施設と学内研究機器共用による研究活性化にむけたワークショップ （2022年1月14日開催）先進半導体・デザインで拓く未来社会創成シンポジウム --> (Sep. 8 2023) The 18th D2T Symposium, The University of Tokyo (Dec. 22) 武田先端知クリーンルーム施設と学内研究機器共用による研究活性化にむけたワークショップ (Jan. 14, 2022) Symposium for Future Society by Advanced Semiconductor and Design Methodology "(Oct 18) Online seminar: Recent research on Graphene" "(July 28) Online seminar: Gray-scale lithography using laser direct writing systems ~Practice and applications~" will be held. --> --> 受賞と成果 Award --> 令和３年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞しました！3年連続受賞・内2年連続最優秀の快挙！ We were awarded the highest award for "Outstanding Achievement" in 2021! --> その他 　Other --> 9/24-10/4は、武田先端知ビルの点検時の停電に伴い、クリーンルームを閉鎖します。この期間中のクリーンルームの使用はできません。 電子線描画装置を除き、通常利用可能です。(9/29現在)個別の装置の状況については予約表を参照ください。 --> 感染症対策 Infectious Disease Control 新型コロナウイルス感染症への対策について(2023/4/10 更新) Measures to Combat New Coronavirus Infections(update 4/10/2023) 武田CRユーザーの皆様 こちら)。武田クリーンルームにおきましても これに伴い感染を防ぐための対応レベルを引き下げます。 東京大学における新型コロナウイルス感染症対応活動制限レベルが7月12日よりレベルAからレベルBに引き上げられます。武田クリーンルームにおきましてもこれに伴い感染を防ぐための対応レベルを引き上げます。 コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)もご確認ください。 また東京大学本郷キャンパスの入構制限緩和に伴い、12月13日（月）より武田CRにおいても入室方法を変更いたしましたのでご確認ください。 コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)もご確認ください。 東京大学における新型コロナウイルス感染症対応活動制限レベルが1月24日(月)よりレベルAからレベルBに引き上げられます。武田クリーンルームにおきましてもこれに伴い感染を防ぐための対応レベルを引き上げます。 --> 東京大学における新型コロナウイルス感染症対応活動制限レベルが2022年3月28日よりレベルBからレベルAに引き下げられました。武田クリーンルームにおきましてもこれに伴い感染を防ぐための対応レベルを引き下げます。 コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)もご確認ください。 Dear TakedaCR users here for details.) The restriction level of The University of Tokyo Activity Restrictions Index are raising from A to B from July 12. Please read 「コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)」Page.14 (Very sorry for in Japanese) In addition, entry method is changed on December 13. Please read 「コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)」Page.14 (Very sorry for in Japanese) The restriction level of The University of Tokyo Activity Restrictions Index are raising from A to B from Jan 24. --> The restriction level of The University of Tokyo Activity Restrictions Index are lowered from B to A from March 28 2022. Please read 「コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)」Page.14 (Very sorry for in Japanese) 東京大学HP：学生向け UTokyo HP：for studens 東京大学HP：職員向け UTokyo HP：for Faculty and stuff wiki wiki ・活動レベルの制限を緩和します(30%→50%へ)。従来通り入室人数や時間を調整することもあります。 --> --> 以下のルールを、今一度ご確認の上、遵守をお願いします。 (更新)活動レベルの制限を強化します(50%→30%へ)。これに伴い予約の調整を行うことがあります。 ・(更新)講習会受講済みの場合でも、新規利用者は申し訳ありませんがご利用いただけません。 --> ・12月13日より健康管理報告の提出は不要になりました。健康自己管理及び入構可メールの転送はこれまで通りの徹底をお願いします。 --> ・(更新)クリーンルーム入室届の提出の徹底をお願いします。 --> --> ・健康自己管理の徹底をお願いします。 ・(更新) -->地下2階入口(4人)、前室(2人)、控室(4人)、更衣室(4人)の定員を守り、会話は可能な限り控えてください。 ・装置前での密を避ける、顔を向き合っての会話を避けるようにしてください。 不明な点は下記にお問い合わせください。(a)は@に変更してください。 nano_help(a)if.t.u-tokyo.ac.jp 以上、感染拡大を防ぎ、研究活動を継続するためにご協力をお願いします。 (update)The number of reservation will be controlled. ・(update)We are sorry that new users will be refused to enter into the SCR. Please follow the rules below as well as before: --> --> --> ・Please ensure the usage procedure. Record the Self Health Monitoring Sheet. (update)Please send application Clean Room Notifications of Entry. --> ・(update) -->Please keep the capacity of the entrance hall on B2F(4 people), the footware room(2 people), the waiting room (4 people) and the changing room(4 people). Please refraine from speaking as possible. ・Be sure to keep the distance with other people nearby, and don't speak with close-range. We request you to reduce the number of people in your group as possible. You can communicate between inside and outside of CR by Zoom and the remote controll system. If you have any questions, please mail to nano_help(a)if.t.u-tokyo.ac.jp (a)→@ Thank you very much for your cooperation. クリーンルーム入室届出(休止中) Clean Room Notifications of Entry(not need now) 東京大学健康管理報告 University of Tokyo Health Management Report クリーンルーム装置予約 Equipment Reservation 詳細 More クリーンルームについて About Clean Room 山手線内で最も清浄度の高いクラス1のクリーンルーム The cleanest class 1 clean room in Yamanote Line 東京大学「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」にようこそ！ 東京大学は、2007年より文部科学省「ナノテクノロジー・ネットワーク」事業に参加し、その後の「ナノテクノロジープラットフォーム」にも継続して参加しております。 リソグラフィー・微細加工に有用な多岐にわたる装置・最先端の研究環境を提供いたします。産業界・公的機関の皆様、ぜひご相談下さい。 Welcome to the University of Tokyo Ultrafine Lithography and Analysis Center Home page! Since 2007, The University of Tokyo has been part of the MEXT project "Nanotechnology Network" and the renewed project "Nanotechnology Platform". A wide-range of equipments is provided for cutting edge research environment. Both industries and public organizations are very welcome to contact us for more details. 部屋紹介 Room Introduction アクセス Access スタッフ Staff 　 装置 Equipment 一流の装置群があなたのものに First-class equipment for you 武田CRには一流の装置群が数多く揃っています。 2020年10月に大規模な装置移設と模様替えを行いました。クリーンルーム内の地図から装置の場所を確認できます。 各種装置の詳細や装置の予約はこちらから。 Takeda CR has a number of top-notch equipment available. In October 2020, we underwent a major equipment relocation and redecoration. You can find out where the equipment is located on our cleanroom map. For more information about the various devices and to make an appointment for equipment, click here. リソグラフィー・露光・描画装置 成膜・膜堆積 膜加工・エッチング 合成・熱処理・ドーピング 表面処理 切削・研磨・接合 形状・形態観察・分析 電気計測 機械計測 その他 Lithography, exposure and drawing equipment Film Formation and Deposition Film Processing and Etching Synthesis, Heat Treatment, and Doping Surface Treatment Cutting, Grinding and Joining Shape and morphology observation and analysis Electrical Measurement Machine Measurement Other 装置一覧 Equipment List