beebet銀行振込

 English 本庄キャンパス 鍋島キャンパス 窓口案内 交通アクセス サイトマップ 大学案内 学部・大学院・全学教育機構 附属・研究施設等 教育・研究 学生生活・進路 社会貢献・国際交流 入試案内 受験生の方へ 企業・研究者の方へ 在校生の方へ 市民の方へ 卒業生の方へ 学内教職員用 大学案内 理念・憲章・目標 大学基本情報 法定公開情報 各種情報 学長室・理事室 佐賀大学の取り組み 情報公開・個人情報 公募情報 佐賀大学憲章 佐賀大学のビジョン2030 佐賀大学のミッションの再定義 佐賀大学改革プラン 中期目標・中期計画・年度計画 中期目標期間評価・年度評価 沿革・歴史 組織図 役職員紹介 交通・学内マップ 役員会・教育研究評議会・経営協議会・大学運営連絡会 学長選考・監察会議情報 国立大学法人ガバナンス・コード報告書 佐賀大学データ集（佐賀大学概要） 学校教育法施行規則 教職課程における情報の公表 独立行政法人情報公開法 役職員の報酬・給与 退職公務員等の状況 動物実験等に関する情報 修学の支援に関する情報の公表 男性労働者の育児休業等取得率 佐賀大学の評価について 法人文書管理 佐賀大学規則集 教員活動データベース 学部・研究科の設置等に関する情報 研究費の不正使用防止に向けた取組 公正な研究活動の推進 公益通報・相談窓口について 国立大学法人佐賀大学における障害を理由とする差別の解消の推進に関する職員等対応要領 経営協議会学外委員からの意見対応 ステークホルダーからの意見対応 学長メッセージ 理事メッセージ 学長対談 学長挨拶集 表敬訪問 役員の経歴等 佐賀大学美術館 佐賀大学SDGsプロジェクト研究所 佐賀大学版IR ダイバーシティ推進室 かささぎ奨学金 佐賀大学オリジナルブランド エコアクション 人事給与マネジメント改革 過去の取り組み 情報公開・個人情報保護総合案内所 情報公開について 個人情報保護 教職員公募情報 学部・大学院全学教育機構 学部 大学院 全学教育機構 教育学部 芸術地域デザイン学部 経済学部 医学部 理工学部 農学部 学校教育学研究科（教職大学院） 地域デザイン研究科 先進健康科学研究科 医学系研究科 理工学研究科 工学系研究科 農学研究科 鹿児島大学大学院連合農学研究科 全学教育機構 附属・研究施設等 図書館 美術館 病院 教育・研究・学生支援等機関 共同利用・共同研究拠点 大学関連組織 学部附属施設 学内組織 図書館 佐賀大学美術館 医学部附属病院 総合分析実験センター 総合情報基盤センター 地域学歴史文化研究センター シンクロトロン光応用研究センター 肥前セラミック研究センター リージョナル・イノベーションセンター 国際交流推進センター 保健管理センター アドミッションセンター キャリアセンター 海洋エネルギー研究所 大学コンソーシアム佐賀  ・Sagallege 同窓会 校友会 教育学部附属幼稚園 教育学部附属小学校 教育学部附属中学校 教育学部附属特別支援学校 教育学部附属教育実践総合センター 医学部附属地域医療科学教育研究センター 医学部附属先端医学研究推進支援センター 医学部附属看護学教育研究支援センター 農学部附属アグリ創生教育研究センター ダイバーシティ推進室 学生支援室 環境安全衛生管理室 教育・研究 教育 研究 佐賀大学学士力 学位授与の方針，教育課程編成・実施の方針，入学者受入れの方針 教育プロジェクト インターフェース科目 全学統一英語能力テスト(実施結果） eラーニング 学則等 教員活動データベース 佐賀大学SDGsプロジェクト研究所 学位論文要旨・審査要旨 公開特許情報 知的財産関連規定 共同研究・受託研究等 研究推進戦略 学生生活・進路 教務情報 各種相談窓口 就職・進路 学生生活 海外留学 キャンパスにおける異文化交流 学則等 教育の方針 学生便覧 履修の手引き 時間割 シラバス オンラインシラバス 共通シラバス ライブキャンパス 入学料・授業料 学生による授業評価アンケート 科目等履修生・研究生 全学統一英語能力テスト(実施結果） 相談窓口一覧 何でも相談室 健康相談 新入生アドバイザー ハラスメント 学生支援室 就職相談会 インターンシップ OB・OGメッセージ 就職データ集 新入生のための就職のしおり 学生相談・支援 障害学生支援 授業料免除 奨学金 学生教育研究災害傷害保険 課外活動 施設利用 学生寄宿舎 構内交通規制 注意・マナー その他学生生活情報 交換留学制度 短期海外研修（SUSAP） 留学サポート 留学した先輩の声 グローバルサポーターズ 社会貢献・国際交流 リージョナル・イノベーションセンター 社会貢献事業 生涯学習 国際交流推進センター 国際交流 地域連携による国際交流 その他国際交流 佐賀大学から海外への留学 海外から佐賀大学への留学 研究者の国際交流 リージョナル・イノベーションセンター 産学官包括連携協定 推進事業 認知症総合サポート事業 自治体等との相互協力協定 サガン鳥栖との連携事業 佐賀環境フォーラム 高大連携活動 公開講座 科目等履修生・研究生 DXリスキルプログラム Sagallege 国際交流推進センター 学術交流協定締結校（大学間） 学術交流協定締結校（部局間） 国際交流に関するデータ 留学生の就職支援セミナー ホームカミングデー（海外版） 交換留学制度 短期海外研修（SUSAP） 留学サポート 留学形態 短期交換留学プログラム（SPACE） 日本語・日本文化研修留学生プログラム サマープログラム 日本語教育 留学生へのサポート 受入 派遣 入試案内 入学手続 学部入試 大学院入試 ３年次編入学 オープンキャンパス・進学説明会 大学パンフレット・受験生応援情報誌 学生生活 入試統計・過去問 資料請求 合格者発表 入学手続（Web入学手続システム） 学部入試の概要 インターネット出願について 佐賀大学版ＣＢＴ 募集要項等ダウンロード 入試予告・お知らせ 一般選抜 学校推薦型選抜 佐賀県推薦入学 総合型選抜 帰国生徒選抜 社会人選抜 私費外国人留学生入試 入試日程 募集要項 入試予告・お知らせ 入学者受入れの方針 入試日程 募集要項 入試予告・お知らせ オープンキャンパス 各地で実施する進学説明会 九州地区国立大学合同説明会 出張進学相談・説明会 高校教員向け入試説明会案内 大学パンフレット 受験生応援情報誌 大学広報誌（「かちがらす」） 学生からのメッセージ（YouTube） 学費（入学料・授業料） 入学料免除・入学料徴収猶予制度 授業料免除制度 奨学金 下宿・学生寮 通学情報 障害学生支援 入試統計 過去の問題 資料請求 合格者発表 HOME 佐賀大学広報室プレスリリースダイヤモンド半導体パワーデバイスの出力電力・電圧の世界最高値を更新 2022年05月10日 プレスリリース ダイヤモンド半導体パワーデバイスの出力電力・電圧の世界最高値を更新 　　　   【研究者】 　代表者：嘉数　誠 　分担者：サハ　ニロイ（佐賀大）、金　聖祐 (アダマンド並木精密宝石)、 　　　　　小山浩司(アダマンド並木精密宝石)、大石敏之（佐賀大） 【研究成果の概要】 　国立大学法人佐賀大学（以下、「佐賀大学」。本部：佐賀県佐賀市本庄町1番地。学長：兒玉 浩明）は、次世代の究極のパワー半導体ダイヤモンド半導体デバイスを作製し、世界最高の出力電圧、電力の記録を更新しました。宇宙空間の人工衛星を基地局にする無線通信が具体的に進む中で、人工衛星で使われている真空管に代わる高出力、高周波数の半導体デバイスに期待されます。 　佐賀大学は、アダマンド並木精密宝石株式会社（以下、「アダマンド並木精密宝石」。本社：東京都足立区新田3-8-22。社長：並木里也子）と共同で、ダイヤモンドの大口径化と半導体デバイスの周辺技術の高度化を進め、次世代のパワー半導体のダイヤモンド半導体デバイスを作製し、世界最高の出力電力および動作電圧を更新しました。ダイヤモンド半導体は、従来のシリコン、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、と比べ、放熱性、耐電圧性、耐放射線性に優れており、地上だけでなく宇宙空間でも安定に動作させることができます。 　ダイヤモンドは、半導体素材として究極の特性を有することが理論的に知られており、高周波で大電力性能のパワーデバイスとして世界中で研究が行われてきましたが、これまでは、窒化ガリウムの特性が上回っていました。 　今回の記録は、昨年９月に発表した世界最高の出力電力値（345MW/cm2）を塗り替える、出力電力875MW/cm2および出力電圧2568Vで動作しました。出力電力値、動作電圧値ともダイヤモンドとしては世界最高で、半導体としては米国MITが発表している窒化ガリウムによる2093 MW/cm2の次の値です。 　今後、デバイスの周辺技術の研究開発を進めることで、先行研究を凌駕する性能を目指すと共に、本格的に実用化に向けた研究開発も進めてまいります。 　なお、本成果は、世界的に最も権威ある米国電気電子学会(IEEE)のElectron Device Letters誌に掲載されますが、注目論文として表紙に掲載されます。 ＜新ダイヤモンド半導体デバイスの特徴＞ ・究極のパワー半導体物性をもつダイヤモンド半導体 ・大口径のダイヤモンドウェハ結晶の製造技術（現在２インチ） ・ダイヤモンド表面の原子レベルCMP(*1)研磨技術 ・世界最高の875MW/cm2、2568Vの高出力電力、高電圧動作 ・宇宙空間の人工衛星の基地局の送信デバイスに最適 ＜開発の背景＞ 　現在は地上に張り巡らされた携帯電話の基地局を宇宙空間の人工衛星に移そうという計画が現実になる中で、太陽から降り注ぐ宇宙線(*2)に耐える送信用の半導体デバイスが必要となります。半導体ではなく、真空管が用いられているのが現状です。いうまでもなく真空管は半導体に比べ効率が低く、寿命が短いということが課題となっていました（図１）。 　半導体の材料に関しては、シリコン、シリコンカーバイド(SiC)、窒化ガリウム(GaN)などが実用化段階に入っていますが、理想的なダイヤモンドができた場合は、その物理性質上から、SiCやGaNを超える周波数、出力が得られることが理論上わかっています。理想的なダイヤモンドは、シリコンに比べて、約５万倍の大電力高効率化、約１２００倍の高速特性が期待されます（図２）。これは、ダイヤモンドが半導体の中でも最大の熱伝導率があり放熱性が良く、絶縁破壊電界強度が高いため長寿命であるばかりでなく、キャリア移動度は非常に高いからです。そのためダイヤモンドは、高周波パワーデバイスとして最も適した究極の半導体と呼ばれています。 　ダイヤモンドは、最も硬い材料なので、ダイヤモンドの砥粒でしか研磨することができません。他の半導体は柔らかいため、例えばダイヤモンドの砥粒で削り、平坦化することができますが、ダイヤモンドの粗い表面しか得られていませんでした。半導体デバイスでは、その表面をキャリアが走るため、電流値が低く、すぐに劣化してしまうため、究極の半導体ではあるが、実用化は容易ではないとされてきました（図3）。 ＜技術のポイント＞ <1>大口径ダイヤモンドウェハ結晶の原子レベルの表面平坦化技術（図3） 　アダマンド並木精密宝石は、最も硬いことで知られるダイヤモンドの表面を、原子レベルで平坦にするCMP技術を開発し、それを用いて研磨を行ったところ、表面の加工変質層を除去することができ、キャリアによる電気抵抗が約半分に減少しました。 <2>ダイヤモンド半導体デバイスの高性能化（図４） 　上記の技術を用い、ダイヤモンド半導体デバイスを作製しました。 <３>世界最高の出力電力、出力電圧を更新（図5） 　昨年、佐賀大学は世界記録の出力電力345 MW/cm2（メガは１００万倍）の値を報告しましたが、それを更新する875 MW/cm2（出力電圧2568V）を達成しました。全ての半導体材料で比較すると、米国マサチューセッツ工科大学(MIT)によるGaNによる世界記録2096MW/cm2の次に高い値です。 ＜今後の展開＞ 　今後は、周辺技術の開発によりダイヤモンドパワー半導体デバイスの性能向上に取り組むと共に、実用化に向けた研究開発を加速し、人工衛星搭載送信用パワー半導体デバイスの実用化に取り組みます（図6）。 ＜用語解説＞ *１　 CMP研磨技術　 半導体ウェハ結晶表面を平坦化するために、化学機械研磨（Chemical Mechanical Planarization）技術を用いて平坦化しますが、ダイヤモンドは最も硬い材料のため、原子レベルで平坦な表面を得ることは不可能とされてきました。ここでは独自の技術で、表面の加工変質層を除去し、原子レベルで平坦な表面を得ることに成功しました。 *２　宇宙線 宇宙空間では、新星などを起源とする高エネルギーの放射線、主に陽子、が飛び交っています。地球上では、大気によって軽減されますが、宇宙空間の人工衛星で、半導体デバイスは、宇宙線によって誤動作したり、デバイス本体が損傷を受け、故障し深刻な課題です。しかしダイヤモンドは、宇宙線に対し最も耐性のある半導体とわかっていました。 ・図１　Beyond5G利用に向けた半導体の高周波化・高出力化の必要性 ・図２　ダイヤモンドの優れた物性から期待されるデバイス性能 ・図３　技術のポイント（１）原子レベルで平坦なダイヤモンドウェハ結晶の製造技術 ・図４　技術のポイント（２）ダイヤモンド半導体デバイスの高性能化  ・図５　技術のポイント（３）世界最高の出力電力、出力電圧を更新 ・図６　デバイス周辺技術により宇宙衛星用パワー半導体デバイスの実用化 ●説明資料 【研究成果の公表媒体（論文や学会など）】 N. C. Saha, et al, “875-MW/cm2 Low-Resistance NO2 p-type Doped Chemical Mechanical Planarized Diamond MOSFETs”, IEEE Electron Device Letters 43, 5, 777 (2022); DOI; 10.1109/LED.2022.3164603. 【教員活動ＤＢのリンク先】 嘉数　誠 https://research.dl.saga-u.ac.jp/profile/ja.2d82a58bcbe158ac.html 【本件に関する問い合わせ先】 　　佐賀大学 　　（研究）理工学部　教授　嘉数　誠　 　　E-mail：[email protected] 　　TEL：0952(28)8648 　　（報道）広報室 　　E-mail：[email protected] 　　TEL：0952(28)8153 　　アダマンド並木精密宝石株式会社　広報室　 　　E-mail：[email protected] 　　TEL：03-3919-0101　　 戻る 佐賀大学広報室からのお知らせ 広報誌「かちがらす」 プレスリリース 情報配信（プレスリリース様式）について（学内専用） 佐賀大Press 学内報（学内専用） カッチーくん 広報情報提供フォーム（教職員専用） ＳＮＳ公式アカウント情報 ご意見投稿 TOP 大学案内 佐賀大学憲章 沿革・歴史 組織図 教育情報 法定情報公開 公募情報 大学の広報 教育・研究 佐賀大学学士力 学位授与の方針、教育課程編成・実施の方針、入学者受入れの方針 インターフェース科目 全学統一英語能力テスト（実施結果） 教員活動データベース 学生生活・進路 相談窓口一覧 学生相談・支援 学生便覧 時間割 課外活動 学生寄宿舎 学生生活 キャリアセンター 佐賀大学アプリ --> 社会貢献・国際交流 リージョナル・イノベーションセンター 国際交流推進センター 交換留学制度 短期海外研修（SUSAP） 留学サポート 短期交換留学プログラム（SPACE） 日本語・日本文化研修留学生プログラム 入試関係 学部入試 大学院入試 3年次編入学 入試統計・過去問 オープンキャンパス・進学説明会 資料請求 大学パンフレット・受験生応援情報誌 入学手続（Web入学手続システム） 窓口案内 交通アクセス サイトマップ 資料請求 国立大学法人佐賀大学 〒840-8502 佐賀市本庄町1 [email protected] 関連機構リンクこのサイトについて Copyright Saga University